用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

广东工业大学学报 ›› 1999, Vol. 16 ›› Issue (2): 7-10.

用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

广东工业大学电气工程及自动化系；汕头协华电脑公司；汕头市凯达泓集团包装材料公司；

出版日期:1999-07-02 发布日期:1999-07-02

Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line

( 1.Dept.of Electric Engineering and Automation,GDUT,Guangzhou 510090,China; 2.Shantou Xuehua Computer Company,Shantou 515000,China; 3.Shantou City Group of KDH.Packing Material Company,Shant

Online:1999-07-02 Published:1999-07-02

摘要/Abstract

摘要： 介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件．

许立梓；李传芳；林文豪；郑锐生； . 用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统[J]. 广东工业大学学报, 1999, 16(2): 7-10.

Xu Lizi 1,Li Chuanfang, 1,Lin Wenhao 2,Zhen Ruisheng 3 . Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line[J]. Journal of Guangdong University of Technology, 1999, 16(2): 7-10.

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Computer Measuring System Using β Ray for Determining the Thickness of the film on line

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