广东工业大学学报 ›› 2001, Vol. 18 ›› Issue (3): 67-71.

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表面技术在电子器件生产中的应用

  

  1. 广东工业大学材料与能源学院; 广东工业大学材料与能源学院 广东广州510643; 广东广州510643;
  • 出版日期:2001-06-02 发布日期:2001-06-02

Application of Surface Technologies in the Production of Electronic Appliance

  1. (Faculty of Material and Energy,GDUT,Guangzhou 510643,China)
  • Online:2001-06-02 Published:2001-06-02

摘要: 综述了电子器件生产中广泛采用的几种表面技术 ,评价了其优缺点 ,并对表面技术在电子薄膜中的研究与应用作了简要概述 ,提出表面技术在电子工业中的发展方向与前景

关键词: 表面技术; 电了薄膜; 溅射; 封装; 气相沉积;

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